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管理番号1 6502
管理番号2 -
発明の名称 小型高エネルギー集束イオンビーム装置
特実区分 P
出願番号 2005-245389
公開番号 2007-059297
登録番号 4665117
IPC番号 H01J
満了  
拒絶  
グループ  
要約 従来の集束イオンビーム形成装置は、加速器と形成用ビームラインとが独立しているため、加速器本体の大きさに加えて10m程度の長尺の形成用ビームラインを必要としており、実験室レベルで集束イオンビーム形成装置を設置することは困難であった。
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