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管理番号1 6497
管理番号2 -
発明の名称 結晶性の低い基板の表面に結晶配向した酸化タングステン薄膜を作製する方法
特実区分 P
出願番号 2005-226655
公開番号 2007-039758
登録番号 4590603
IPC番号 C23C:C01G
満了  
拒絶  
グループ  
要約 結晶性の低い基板の表面に結晶配向した酸化タングステン薄膜を作製する方法を提供すること。
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