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管理番号1 6476
管理番号2 -
発明の名称 光学式水素検知材料用酸化タングステン薄膜の作製方法
特実区分 P
出願番号 2005-170568
公開番号 2006-342411
登録番号 4717522
IPC番号 C23C
満了  
拒絶  
グループ  
要約 水素検知材料としての使用を可能にする酸化タングステン薄膜を安価に実現する作製技術を提供すること。
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