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管理番号1 6406
管理番号2 -
発明の名称 放射線下におけるオイルフリー真空ポンプからの摩耗粉の排出防止装置
特実区分 P
出願番号 2004-283580
公開番号 2006-097530
登録番号 4594690
IPC番号 F04B:B01D:F04C
満了  
拒絶  
グループ  
要約 比較的簡単な構成により、ドライ真空ポンプからの排気に含まれている微粉を、有効に除去する。
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