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管理番号1 6296
管理番号2 K0041
発明の名称 軟X線透過型偏光光学素子の生成法
特実区分 P
出願番号 2004-003644
公開番号 2005-195996
登録番号 4478783
IPC番号 G02B
満了  
拒絶  
グループ  
要約 波長2〜100nmの軟X線領域では、多層膜を用いた透過型、反射型の偏光光学素子が開発されており、又波長0.3nm以下の比較的硬い軟X線領域では、ダイヤモンド結晶を用いた偏光光学素子が利用されているが、その中間の波長領域における偏光光学素子の開発はきわめて困難であった。
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