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管理番号1 12844
管理番号2 -
発明の名称 水素ガス検知材とその被膜方法
特実区分 P
出願番号 2006-102809
公開番号 2007-278744
登録番号 4775708
IPC番号 G01N
満了  
拒絶  
グループ  
要約 【課題】水素を含んだ雰囲気に曝されると、光の吸収特性が変化する水素ガス検知材とその被膜方法を提供する。【解決手段】水素を含んだ雰囲気に曝されると、光の吸収特性が変化する水素ガス検知材とその被膜方法は、(1)上記水素ガス検知材の主成分が酸化タングステンである、(2)上記酸化タングステンの表面上にパラジウムが堆積されている、(3)上記酸化タングステンは、酸素の圧力を制御したスパッタリング法により基材に被膜される、(4)酸化タングステン被膜時の基材温度が室温(20℃)で被膜されることを特徴とする。
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